Элементы теории ионизации и возбуждения атомов в ионной спектроскопии
В атомной физике и физике атомных столкновений под термином «возбуждение» понимаются, как правило, любые энергетические состояния атома, отличные от основного, в том числе состояния ионизации. К настоящему времени установлено, что за ионизацию и возбуждение вторичных частиц ответственны одни и те же процессы. Поэтому используемые в настоящем разделе термины «возбуждение» и «ионизация», если в тексте нет указаний, следует рассматривать как синонимы. В то же время следует различать термины «ионизация» и «новообразование». Под последним понимается совокупность процессов возбуждения (ионизации) и релаксации возбуждения (нейтрализации), приводящих к регистрации в эксперименте атомных частиц в ионизованном состоянии. Термины «девозбуждение», «релаксация возбуждения», «нейтрализация» следует понимать как синонимы, если в тексте нет конкретизации.
О классификации теоретических моделей ионообразования
Итак, новообразование - это суммарный результат действия на атом механизмов возбуждения и релаксации возбуждения в процессах его столкновений с другими атомами в твердом теле и при движении вблизи поверхности при распылении и рассеянии. Существующие классификации механизмов ионообразования рассматривают лишь случай распыления за счет линейных каскадов атомных столкновений, а это приводит к тому, что не принимается в расчет возможность ионообразования, например, в условиях тепловых пиков. Не учитываются также особенности возбуждения в условиях режима прямого выбивания и действия других механизмов распыления и рассеяния первичных ионов. Таким образом, полная классификация должна учитывать перечисленные моменты, а также все возможные микронроцессы при взаимодействии первичных и вторичных атомных частиц с приповерхностной областью анализируемого объема и с поверхностью. Для начала, однако, попытаемся систематизировать представления о процессах ионообразования в условиях действия каскадного механизма распыления.
