Вторичная электронная эмиссия
Вторичная электронная эмиссия — это явление испускания твердыми телами вторичных электронов при их бомбардировке первичными электронами.
Поток вторичных электронов складывается из упруго и неупруго отраженных первичных электронов и истинно вторичных электронов. Вторичные электроны имеют непрерывный энергетический спектр от нуля до энергии первичных электронов. На рис. 3.5 приведено распределение вторичных электронов по энергиям, эмитируемых вольфрамом.
Область спектра / соответствует упруго отраженным первичным электронам, область II— неупруго отраженным первичным электронам, и область /// характеризует энергетический спектр истинно вторичных электронов. Каждое явление характеризуется своим коэффициентом:
- ? г— коэффициент упруго отраженных электронов, равный отношению числа упруго отраженных электронов к числу первичных электронов:
- ? 7— коэффициент неупругоотраженных электронов, равный отношению числа неупруго отраженных электронов к числу первичных электронов;
- ? 5— коэффициент истинной вторичной электронной эмиссии, равный отношению числа истинно вторичных электронов к числу первичных электронов.
Полный коэффициент вторичной электронной эмиссии о определяется соотношением:
Все составляющие коэффициента вторичной электронной эмиссии в первую очередь зависят от величины работы выхода электронов, а также от параметров пучка первичных электронов и свойств эмиттера.
В диэлектриках и эмиттерах с широкой запрещенной зоной и малым сродством к электрону коэффициент а имеет значение порядка 100.
Рис. З.б. Энергетический спектр вторичных электронов
