ТЕОРИЯ МЕХАНИЗМОВ И МАШИН. ПРОЕКТИРОВАНИЕ ЭЛЕМЕНТОВ И УСТРОЙСТВ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ СИСТЕМ ЭЛЕКТРОННОЙ Т

ЭЛЕМЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ ОБОРУДОВАНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ ТЕХНОЛОГИИ Механические системы, управляющие молекулярным потоком Элементы вакуумных систем промышленных установок Средства защиты технологического объема от продуктов распада рабочих веществ Выбор параметров откачных средств вакуумной системы РАСЧЕТ ВАКУУМНЫХ УСТРОЙСТВ С БЕСКОНТАКТНЫМ МАГНИТНЫМ ВЗАИМОДЕЙСТВИЕМ Пределы применимости методики Принятая терминология и обозначения Проектный расчет Поверочный расчет Пример расчета вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием РАСЧЕТ ОСНОВНЫХ ПАРАМЕТРОВ ВАКУУМНЫХ СИЛЬФОННЫХ ВВОДОВ ДВИЖЕНИЯЗ.1 Пределы применимости методики Принятая терминология и обозначения Выбор типоразмера сильфона Определение напряжений в гофрах сильфона Расчет долговечности сильфона Расчет долговечности подшипников качения в атмосферных условиях РАСЧЕТ МАГНИТНЫХ СИСТЕМ ВАКУУМНОГО ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ Принятая терминология и обозначения Проектирование магнитных систем Пример расчёта магнитной системы РАСЧЕТ ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫХ СИСТЕМ ВАКУУМНОГО ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ Принятая терминология и обозначения Проектирование электромагнитных систем Расчет электромагнитной системы РАСЧЕТ ЭЛЕМЕНТОВ МЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ ОБОРУДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ НА ПРИВНОСИМЫЙ УРОВЕНЬ ЗАГРЯЗНЕНИЙ Пределы применимости методики Принятая терминология и обозначения Расчет элементов механических систем на привносимый уровень загрязнений Общие расчетные зависимости Расчетные зависимости для подшипников скольжения Расчетные зависимости для шарикоподшипника Расчетные зависимости для волновой зубчат ой передачи Расчетные зависимости для прямозубой зубчатой передачи Расчетные зависимости для передачи гибкой связью РАСЧЕТ ГАЗОВЫДЕЛЕНИЯ ИЗ УЗЛОВ ТРЕНИЯ МЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ, РАБОТАЮЩИХ В ВАКУУМЕ Пределы применимости методики Терминология и обозначения Расчет газовыделения из узлов трения РАСЧЕТ ВЕРОЯТНОСТИ БЕЗОТКАЗНОЙ РАБОТЫ ДЕТАЛЕЙ МЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ, РАБОТАЮЩИХ ПОД НАГРУЗКОЙ Расчет надежности деталей механизмов, работающих под нагрузкой Общие принципы расчета Расчет величины фактическою напряжения и его среднеквадратичного отклонения Определение величины предельного напряжения и его среднеквадратичного отклонения МЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ НА ОСНОВЕ /-КООРДИНАТНЫХ ИСПОЛНИТЕЛЬНЫХ УСТРОЙСТВ / - координатные исполнительные устройства в оборудовании производства электронной техникиОборудование для выращивании монокристаллов.Оборудование для ионно-плазменного напыления.Оборудование молекулярно-лучевой эпитаксии. Пределы применимости методики Принятая терминология Основные расчетные зависимости Пример расчета ТРЕНИЕ И ИЗНОС композиционых МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ Твердосмазочные композиционные материалы и методика их исследования Триботехнические характеристики твердосмазочных композиционных материалов УЗЛЫ ТРЕНИЯ С МОДИФИЦИРУЮЩИМИ ПОЛИМЕРНЫМИ ПОКРЫТИЯМИ Особенности модификации РТИ и их триботехнических испытаний Свойства РТИ в узлах трения Сухое трение Трение резин в смазке ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЕ КРЕПЕЖНЫЕ УСТРОЙСТВА ДЛЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ ЭТ Пондеромоторные силы в конденсаторе с диэлектриком Электромеханическая модель ЭКУ Релаксационные процессы в ЭКУ Электрическая релаксация Механическая релаксация Динамика пондеромоторных сил в ЭКУ Процесс установления сил электроадгезии ЭКУ в технологической оснастке производства изделий электронной техники ЭКУ с полуироводящей подложкой ЭКУ с диэлектрическим покрытием для вакуумного оборудования ЭКУ на основе электретного эффекта РАСЧЕТ ОСНОВНЫХ ПАРАМЕТРОВ ВОЛНОВЫХ ЗУБЧАТЫХ ПЕРЕДАЧ ВАКУУМНОГО ОБОРУДОВАНИЯ Пределы применимости методики Принятая терминология и обозначения Расчет входной мощности волновой передачи Выбор типа генератора и гибкого элемента для волновой передачи Выбор генератора Выбор гибкого элемента Кинематический расчет волновой передачи Расчет передаточного числа Определение чисел зубьев Расчет передаточного числа планетарного генератора волн Определение модуля зацепления волновой передачи Расчет толщины гибкого элемента Расчет гибкого элемента волновой передачи Расчет планетарного генератора волн Прочностной расчет планетарною генератора волн Расчет основных параметров дискового генератора волн Определение номинальной долговечности основных элементов волновой передачи Расчет долговечности гибкого элемента Расчет долговечности шарикоподшипников роликового и дискового генераторов волн Расчет долговечности наружных колец кулачкового и планетарного генераторов волн РАСЧЕТ ЧЕРВЯЧНО-ЗУБЧАТЫХ МЕХАНИЗМОВ ОБОРУДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ Расчет червячно-зубчатого механизма Определение мощности электродвигателя для червячно-зубчатого механизма Кинематический расчет механизма Выбор материалов для зубчатых и червячных пар Выбор допускаемых напряжений Расчет закрытой зубчатой пары с жидкой смазкой Расчет открытой зубчатой пары или редукторной передачи с пластичной смазкой Расчет валов на прочность и жесткость Выбор радиальных однорядных шарикоподшипников Определение основных размеров корпусных деталей Расчет двухпоточного червячнозубчатого механизма Расчет мощности редуктора и выбор электродвигателя двухиоточного червячно-зубчатого механизма Кинематический расчет Конструктивный выбор модуля зацепления двухноточного червячно-зубчагого редуктора Проверка модуля зацепления червячной пары из условия прочности зубьев на изгиб Геометрический расчет двухиоточного червячно-зубчатого редуктора Силовой расчет двухпоточного червячно-зубчатого редуктора Выбор радиального шарикоподшипника для червячного колеса редуктора Определение диаметров валиков и штифтов Расчет времени реверсирования механизма Определение мертвого хода механизма Выбор смазки РАСЧЕТ РАДИАЛЬНЫХ ОДНОРЯДНЫХ ШАРИКОПОДШИПНИКОВ, РАБОТАЮЩИХ В ВАКУУМЕ Пример проектного расчета Пример поверочного расчета РАСЧЁТ ЗАЗОРОВ В ОПОРАХ КАЧЕНИЯ УСТРОЙСТВ С БЕСКОНТАКТНЫМ МАГНИТНЫМ ВЗАИМОДЕЙСТВИЕМ Пределы применимости методики Определение теплового компенсационного зазора Расчёт радиальных зазоров в подшипниках качения УБМВ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ МИКРОСТРУКТУР Основные сведения о молекулярнолучевой эпитаксии Сверхвысоковакуумиые установки для молекулярно-лучевой эпитаксии
 
  РЕЗЮМЕ   След >